HMDS蒸鍍真空烤箱，芯片HMDS蒸鍍烤箱

   HMDS原為化學(xué)藥品HexaMethylDiSilazane的縮寫,在此則是指芯片在上光阻前的一個預(yù)先處理步驟。 HMDS蒸鍍就是利用惰性氣體(例如氮氣)帶著HMDS的蒸汽通過芯片表面,而在晶面上形成一層薄膜。

其目的在于：消除芯片表面的微量水份，防止空氣中的水汽再次吸附于晶面，增加光阻劑(尤其是正光阻)對于晶面的附著能力,進(jìn)而減少在而后之顯影過程中產(chǎn)生光阻掀起,或是在蝕刻時產(chǎn)了”Undercutting”的現(xiàn)象。
   HMDS烤箱將HMDS涂到LED、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷�，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS蒸鍍真空烤箱，芯片HMDS蒸鍍烤箱主要技術(shù)參數(shù)

工作室尺寸：450×450×450，550×650×550（mm），可自定義 

材質(zhì)：外箱材質(zhì)采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L 醫(yī)用級不銹鋼

溫度范圍：RT+10-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：0.5℃

真空度：≤133pa（1torr）

潔凈度：class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

控制儀表：人機界面

HMDS控制：HMDS充液量可控制

真空泵：旋片油泵/進(jìn)口干泵（全新）

保護(hù)裝置：漏電保護(hù)，超溫保護(hù)，HMDS低液位報警等

HMDS蒸鍍真空烤箱，芯片HMDS蒸鍍烤箱特點

預(yù)處理性能更好，處理更加均勻，效率高，更加節(jié)省藥液，更加環(huán)保，

安全性高（低液報警裝置，自動吸取HMDS，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)）。

無塵烘箱，100級潔凈烘箱用途:

  無塵烘箱，100級潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵烘箱，100級潔凈烘箱特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到極高溫度控制精度。

無塵烘箱，100級潔凈烘箱技術(shù)參數(shù)：

1、主要技術(shù)指標(biāo)：

 無塵等級：Class 100;     

 溫度范圍：RT+10～200℃；

 溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動度：±0.5℃（空載）        

 溫控精度：±0.1℃;        

 工作室尺寸：W600×D600×H500（mm） 可自定內(nèi)部尺寸  

        上海雋思實驗儀器有限公司主要生產(chǎn)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烤箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜發(fā)酵設(shè)備、橡塑檢測設(shè)備、電線電纜檢測設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備及實驗室儀器的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強的自主開發(fā)、設(shè)計能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能、航空航天等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的一致好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！能夠完成儀器儀表工程產(chǎn)品配套和維修服務(wù)！
       主要業(yè)務(wù)項目有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，無氧化烘箱，真空無氧烤箱，氮氣烘箱，潔凈烤箱，無氧烤箱，無塵無氧固化烤箱，高精度加熱臺，精密恒溫?zé)岚澹琇ED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半導(dǎo)體工藝設(shè)備。黑蒜加工設(shè)備，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，超低溫試驗箱，超低溫沖擊試驗箱，-150度高低溫試驗箱，恒溫恒濕試驗箱，真空烘箱，熱風(fēng)真空烤箱，環(huán)境檢測儀器，實驗室研究儀器，橡塑檢測儀器，電纜檢測儀器設(shè)備等。