氣體流量傳感器 多功能氣體流量傳感器 智能型氣體流量傳感器
型號(hào): BXS08-1000-CV-A
通徑 1.0 1.8 mm
最大流量 30, 100, 200 500 1000 sccm
量程比 >100:1
精度 ±(1.5+0.5fs) %
重復(fù)性 ±0.25 %
零點(diǎn)輸出漂移 ±30 mv
輸出漂移 ±0.2 %/c
響應(yīng)時(shí)間 4 8 16 33 65 131 msec
工作電源 8-18Vdc, 50mA
輸出方式 線(xiàn)性,RS232/模擬0.5-4.5Vdc
最大流量壓損350 300 PA
微橋氣流質(zhì)量傳感器是基于氣流流過(guò)傳感元件的熱傳輸工作原理,傳感器輸出電壓正比于流過(guò)內(nèi)部傳感元件的進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量;诘奈⒔Y(jié)構(gòu)技術(shù),傳感器內(nèi)含一塊獨(dú)特的硅芯片-它包含薄膜電路、發(fā)熱及熱敏感元件的熱隔離橋電路,橋電路對(duì)流過(guò)芯片的氣流快速、靈敏的響應(yīng)。發(fā)熱體兩側(cè)的敏感元件還能指示氣流流過(guò)的方向。激光校整的厚膜電路及薄膜電阻了每個(gè)元器件一致的性能。微橋式氣流質(zhì)量傳感器利用熱敏電阻薄膜-被壓成薄片包含在絕緣材料厚膜電路中,他們被懸掛起來(lái)在硅片刻蝕空洞上形成橋狀,如右圖顯示,芯片被精確的安放在氣流通道上,流量傳感橋下的硅片刻蝕空洞的空氣間隙提供發(fā)熱體和熱敏元件之間的熱隔離。微橋式氣流質(zhì)量傳感器的小尺寸和熱隔離有助于氣流的快速響應(yīng)及高靈敏度。特殊設(shè)計(jì)的殼體精確地引導(dǎo)和控制氣流流過(guò)微橋,并能很方便的安裝在印刷線(xiàn)路板上。雙惠斯頓電橋控制氣流的測(cè)量一個(gè)提供閉環(huán)的發(fā)熱器控制,另一個(gè)包含雙傳感元件,發(fā)熱器控制線(xiàn)路把由于周?chē)h(huán)境溫度變化而引起的輸出溫飄減小到最小程度。此線(xiàn)路保持發(fā)熱器溫度恒定高于周?chē)h(huán)境溫度160?C,周?chē)h(huán)境溫度由芯片上的熱敏電阻測(cè)量得知,惠斯頓電橋的差壓即為隨電源電壓比率變化的傳感器輸出電壓。氣流中的灰塵平行流過(guò)芯片表面,另外熱遷移效應(yīng)能移走微米級(jí)的粒子,清潔了微電路,使用一些運(yùn)用中可能存在的污染被減少,在我們的加速壽命試驗(yàn)中,在低于50sccm速度氣流的典型的工業(yè)環(huán)境下,氣流質(zhì)量傳感器能達(dá)到20 年的預(yù)測(cè)壽命。由于灰塵附著在芯片邊緣而引起的堵塞在低速下可以簡(jiǎn)單地使用過(guò)濾網(wǎng)而解決,使用小格柵和高氣流阻抗的過(guò)濾網(wǎng)可得到的過(guò)濾效果- 當(dāng)大量灰塵堆積在過(guò)濾網(wǎng)上時(shí),綜合阻抗不會(huì)顯著變化,可采用一次性使用的5 微米格柵的過(guò)濾網(wǎng)。特點(diǎn):* 的微加工技術(shù)* 低氣流速度敏感-0.1sccm* 檢測(cè)流量200 升/ 分鐘* 快速響應(yīng),低電流損耗,高反應(yīng)重復(fù)性* 激光刻蝕提供了器件的一致性* 低壓力精確測(cè)量(0.001-4”水柱)典型運(yùn)用:* HVAC 的風(fēng)門(mén)擋板控制* 氣體分析儀* 低真空控制* 過(guò)程控制* 醫(yī)用呼吸儀和肺活量?jī)x* 氧氣供應(yīng)* 麻醉控制儀* 氣體標(biāo)定注意:AWM 傳感器不能用于液體質(zhì)量測(cè)量,當(dāng)流過(guò)高速的液體流量時(shí),傳感器可能會(huì)遭到破壞。
有以下產(chǎn)品系列:
SS系列: SS541AT*,SS526DT*,SS495A
26PC系列: 26PCAFA6D,26PCBFA6D,26PCBFA6G,26PCCFA6D,26PCCFA6G,26PCDFA6G,26PCFFA6G,26PCFFB6G
24PC系列: 24PCEFA6,24PCAFA6D, 24PCBFA6D, 24PCCFD6A, 24PCCFA6G, 24PCCFA6D 24PCDFA6D ,24PCFFA6G ,24PCGFH6G
SSC系列: SS541AT*,SS526DT*,SS495A1
PX2系列: HMC系列: HMC1501* PS系列: PS61,PS31 NSC系列:
HSC系列: FS-3系列: FS-380系列:
AWM系列: AWM720P1,AWM5104VN,AWM5101VN,AWM43600,AWM43300VH,AWM43300V,AWM42150VH, AWM3300V,AWM3150V,AWM3100V.
40PC系列:40PC150G2A, 40PC100G2A,40PC015G2A,40PC001B2A.
142PC系列: 142PC30G, 142PC15A
ASDXACX系列: ASDXACX030PAAA5,ASDXACX015PAAA5
ASDX系列: ASDX015D44R,ASDX001G24R*
HIH系列: HIH6130-021-001S,HIH4010-003
DC系列: DC010NDC4, DC001NDC DC010NDR4
19C030系列: 19C030PG1L,19C030PA1K
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AWM2000,3000,4000,5000,700氣體流量傳感器: AWM2000,3000,4000,5000,700氣體流量傳感器之AWM2000系列為無(wú)源器件,包含兩個(gè)惠斯頓電橋:一個(gè)為閉環(huán)的發(fā)熱控制電路,一個(gè)為雙傳感電路.
。雙向氣流傳感
。實(shí)際氣體質(zhì)量流量傳感
。流速0~30sccm 到0~1000sccm
。能承受最大共膜壓力25PSI
。需另加發(fā)熱器控制及傳感橋路供電電路
。工作溫度:-25~+85℃
。供電電壓:10VDC
。輸出電壓:最大50mV
AWM2000,3000,4000,5000,700氣體流量傳感器之AWM3000系列氣體流量傳感器: AWM3000 系列是輸出為1-5V 或4~20mA的氣體質(zhì)量流量傳感器
。激光校整了一致的互換性
。測(cè)量流速可至1.0LPM
。能承受最大共膜壓力25PSI
。工作溫度:-25~+85℃
。供電電壓:10VDC
AWM2000,3000,4000,5000,700氣體流量傳感器之AWM40000系列氣體流量傳感器: AWM40000 系列包括不帶放大和放大/ 信號(hào)處理的信號(hào)。氣體流量傳感器有一個(gè)由加熱器與溫度敏感元件組成的薄膜隔熱的電橋式結(jié)構(gòu)。該電橋式結(jié)構(gòu)對(duì)流過(guò)芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏和快速的反應(yīng)。AWM43600V 為6SLPM 器件。
AWM2000,3000,4000,5000,700氣體流量傳感器它主要的特點(diǎn)是:
。的微加工技術(shù)
。檢測(cè)流量0-6SLP
。工作溫度可至125℃
?沙惺150PSI的共膜壓力
?焖夙憫(yīng),低電流損耗。
。零點(diǎn)和滿(mǎn)量程高穩(wěn)定性
應(yīng)用場(chǎng)合 : 電纜充氣機(jī),醫(yī)用呼吸機(jī)和肺活量?jī)x,氣體檢測(cè)設(shè)備,氣體標(biāo)定 AWM2000,3000,4000,5000,700氣體流量傳感器之AWM5000 系列氣體流量傳感器 AWM5000 系列為文丘里流量管形外殼,可以測(cè)量至20 升/分鐘,最大壓降2.25"水的氣流. 微橋芯片直接與氣流接觸,大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。每個(gè)AWM5000系列產(chǎn)品都包括含放大` 線(xiàn)性修正` 溫度補(bǔ)償和氣體標(biāo)定,氣體標(biāo)定通過(guò)激光校整得到
。各種流量接口可選
。文丘里管設(shè)計(jì)
。遠(yuǎn)程安裝
。激光校整CO2,N2 氬氣的標(biāo)定
。能承受50psi的共模壓力
。供電電壓:10VDC,輸出:5VDC
。工作溫度:-20~+70℃
AWM2000,3000,4000,5000,700氣體流量傳感器之AWM700 系列氣體流量傳感器
AWM700系列微橋大流量傳感器,提供了在線(xiàn)流量測(cè)量,和一個(gè)特殊設(shè)計(jì)的旁路封裝,這種傳感器測(cè)量流量可至標(biāo)準(zhǔn)200 標(biāo)準(zhǔn)升/ 分鐘(200SLPM),同時(shí)導(dǎo)致1 英寸水柱的壓降典型值。AWM720P1實(shí)現(xiàn)了小封裝下的大流量范圍,AWM720P1有一個(gè)6ms反應(yīng)時(shí)間,10V直流供電,耗電僅60mW,緊湊的塑料封裝,可承受過(guò)壓至25PSI,而不影響指標(biāo)。傳感器的AMP兼容連接件提供了的電氣連接。此傳感器也很適合于便攜設(shè)備和電池供電設(shè)備。
AWM700系列傳感器,主要是為醫(yī)療呼喚機(jī)市場(chǎng)開(kāi)發(fā)的,可以滿(mǎn)足許多醫(yī)療和分析儀器的應(yīng)用需求!
。工作溫度:-25~+85℃
。供電電壓:10VDC,輸出:5VDC
。能承受25psi的共模壓力
相關(guān)產(chǎn)品鏈接:
典型應(yīng)用: 氣體流量測(cè)量,發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口氣體流量測(cè)量,工業(yè)氣流測(cè)量,醫(yī)療
行業(yè): 發(fā)動(dòng)機(jī)和機(jī)動(dòng)車(chē)輛, 工業(yè)控制, 醫(yī)療
替代:
產(chǎn)品規(guī)格書(shū): LMM-H03
產(chǎn)品描述: MEAS的氣體流量傳感元件由快速響應(yīng)的鎳熱膜和氮化硅基板組成,以確保傳感器的高靈敏度和快速響應(yīng)速度。傳感器適合汽車(chē)行業(yè)的應(yīng)用。芯片還包括一個(gè)用于補(bǔ)償環(huán)境溫度的參考傳感器,由與熱膜相同材料的鎳電阻薄膜制成。該型號(hào)利用兩片熱膜進(jìn)行雙向測(cè)量,用于補(bǔ)償?shù)膮⒖紓鞲衅鲃t置于另一塊基板上,測(cè)量實(shí)際空氣溫度。
特點(diǎn):
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ASF 1400氣體流量傳感器特點(diǎn)
數(shù)據(jù)達(dá)200HZ動(dòng)態(tài)范圍:0.01scm-400scm
精度高、分辨率高
經(jīng)過(guò)標(biāo)定和溫度補(bǔ)償
RS-232和SPI數(shù)字接口
ASF 1400氣體流量傳感器技術(shù)參數(shù)
精度:0-5%FS(23°C)
動(dòng)態(tài)范圍:-400 –400 Sccm(直接測(cè)量條件下)
-100 –400 Sccm Liter/min(含有旁路管的條件下測(cè)量值)
無(wú)限制(在傳統(tǒng)旁路管的條件下)
分辨率:0.1 Sccm(當(dāng)流速是400sccm /640ms時(shí))
0.0143(1/70)Sccm(當(dāng)流速是10sccm /640ms時(shí))
最小感知流量:標(biāo)準(zhǔn)值為0.0143(1/70)Sccm;最大值為0.003 Sccm
壓力損耗:120Pa
重復(fù)性:0.0025%FS,0.025%m.v精密氣體流量測(cè)量
超聲波氣體流量傳感器主要特點(diǎn)
成熟的超聲技術(shù)
固態(tài), 無(wú)活動(dòng)部件
輕巧, 設(shè)計(jì)緊湊
雙向氣體流量從0到1000ml/min
Gill超聲波氣體流量傳感器的微流量使用成熟的超聲波技術(shù)來(lái)測(cè)量氣體流量準(zhǔn)確性和可靠性,無(wú)移動(dòng)部件。MicroFlow第一次單個(gè)設(shè)備演示雙向空氣質(zhì)量流量測(cè)量,從0到1000KG/小時(shí)用0.01毫升的分辨率和調(diào)節(jié)比>1000:1。該單元能夠在氣體壓力7.0巴下操作。
不同的質(zhì)量流率范圍可由簡(jiǎn)單定制的流量管和傳感器組件得到。
連同其高采樣率,精度和診斷能力,該傳感器能夠提供對(duì)氣體流動(dòng)非常小變化的詳細(xì)信息。
MicroFlow使用超聲波測(cè)量氣體通過(guò)設(shè)備的速度。超聲脈沖在上游和下游的兩個(gè)傳感器之間的氣流傳輸。用飛行時(shí)間的原理,氣體流速的精確讀數(shù)可被確定。提供板載壓力傳感器測(cè)量和補(bǔ)償氣體壓力的變化。
流量測(cè)量
流量范圍 0.01 到 1,000 ml/min 采樣率 100 每秒 操作壓力 0 到 7.0 巴
模擬輸出
輸出格式 RS232 精度 ±3% 或 ±2ml/min 平均偏差 ±0.5ml/min
電氣
電源電壓 +12VDC 電源電流 <150mA
機(jī)械
尺寸 145mm x 135mm x 30mm (L x W x H) 重量 200g
環(huán)境
操作溫度 -10°C 到 +60°C 儲(chǔ)存溫度 -20°C 到 +70°C 濕度 95% RH (不結(jié)露)
注意
本產(chǎn)品為原型,并不適合用于一般銷(xiāo)售。請(qǐng)與我們聯(lián)系,如果您有類(lèi)似的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的要求。
典型應(yīng)用
醫(yī)療 工業(yè)
通風(fēng)設(shè)備 氣體流量控制
氣體流量控制 過(guò)濾器測(cè)試
氣體流量控制
氣體使用量監(jiān)控
典型的氣體流量來(lái)自蠕動(dòng)泵