NVP81平膜式高頻響壓力傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù)制作的集成硅膜片作為敏感元件,其尺寸小,而且硅具有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性,再加上采用了齊平封裝結(jié)構(gòu),使得壓力傳感器的動態(tài)頻率響應(yīng)極高(可達(dá)到1MHz),可獲得低至零頻、高至接近固有頻率的寬頻帶響應(yīng),而且有低至微秒級的上升時間,綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器。該系列傳感器適用于軍事工程、化爆試驗、石油勘采與測井、材料、力學(xué)、土木工程學(xué)、巖土力學(xué)、創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、液壓動力機(jī)械試驗等科學(xué)試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,是動態(tài)壓力波形測量的?蛇x筆形沖擊波型壓力傳感器。
動態(tài)頻響 | 1MHz | ||||
測量介質(zhì) | 與硅、不銹鋼、玻璃兼容的各種液體或氣體 | ||||
量 程 | 0~10KPa……60MPa | ||||
非線性 | 0.05%FS | 0.15%FS | 0.3%FS | 0.5%FS | |
遲滯、重復(fù)性 | 0.03%FS | 0.1%FS | 0.2%FS | 0.3%FS | |
精 度 | 0.1%FS | 0.2%FS | 0.5%FS(典型) | 1%FS | |
過載壓力 | ≥200%FS | ||||
穩(wěn)定性 | 優(yōu)于0.2%FS/年 | ||||
電氣特性 | |||||
滿量程輸出 | 80mV±20mV | ||||
零點輸出 | ≤±2mV | ||||
供 電: | 1.5mA,5mA或9V | ||||
電氣接口 | 自帶鎖緊結(jié)構(gòu),或其它 | ||||
絕緣電阻 | 100MΩ(50VDC) | ||||
環(huán)境特性 | |||||
零點溫度系數(shù) | 0.03%FS/℃(典型) | ||||
靈敏度溫度系數(shù) | 0.03%FS/℃(典型) | ||||
補(bǔ)償溫度范圍 | 0~70℃ | -25~50℃ | 25~125℃ | 25~175℃ | |
存儲溫度范圍: | -40℃~125℃ | ||||
相對濕度 | %0~85% | ||||
結(jié)構(gòu)性能 | |||||
壓力接口 | M20×1.5,M12×1,或其它 | ||||
殼體及接口材料 | 1Cr18Ni9TI | ||||
重量 | 約150g |
應(yīng)用:⊙OEM定制 ⊙工廠自動化 ⊙大氣壓力 ⊙試驗過程監(jiān)測⊙和機(jī)翼動力學(xué) ⊙火箭測試⊙氣體測量 ⊙風(fēng)洞⊙過程控制 ⊙供暖,通風(fēng),制冷,⊙生物醫(yī)療測試 ⊙船舶,發(fā)動機(jī),實驗機(jī)⊙航空測試臺 ⊙油井,校驗裝置⊙軍事 ⊙航天
產(chǎn)品詳介:
EPX
電氣連接:電纜/Integeral Connector 類型:表壓、絕壓 特點:微型螺紋,高頻響應(yīng)(450KHz) 供電電源:10VDC(標(biāo)準(zhǔn)) 輸出:15mV to 125 mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5,10,15,25,50,100,250,500,1000,2500,5000(PSI) 典型應(yīng)用:航空、發(fā)動機(jī)、試驗設(shè)備
EPXM
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:小螺紋、高精度、放大輸出 供電電源: 視輸入而定 輸出:9mV 或 5V 精確度:0.1% FSO 工作溫度范圍:-40℃~125℃ 量程:0-150,200,300,500,1000,1500,2000,3000,5000(PSI) 典型應(yīng)用:航天、試驗設(shè)備、發(fā)動機(jī)
EPE
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:低壓,高靈敏度,超小型 供電電源:10VDC(標(biāo)準(zhǔn)) 輸出: 120 mV ~ 400 mV 精確度:0.75-1.5% FS 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-2, 5(PSI) 典型應(yīng)用:風(fēng)洞、火箭測試、爆炸測試、試驗過程監(jiān)測
EPI
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:小型、高頻響應(yīng)(420KHz) 供電電源:5VDC 輸出:15mV ~ 100 mV 精確度:0.25-1% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5, 10, 15, 25, 50, 75, 100, 250, 500(PSI) 典型應(yīng)用:風(fēng)洞,生物醫(yī)療測試,和機(jī)翼動力學(xué),飛行測試
EPIH
電氣連接:電纜 類型:表壓 特點:超小型,高頻響應(yīng)(1.7 MHz) 供電電源:5VDC 輸出: 12mV to 75 mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5, 10, 15, 25, 50, 75, 100, 200, 300(PSI) 典型應(yīng)用:航天,風(fēng)洞,爆炸,生物醫(yī)療,機(jī)翼動力學(xué),高頻測試
EPXO
電氣連接:電纜 類型:表壓 特點:高壓,放大輸出 供電電源:視輸入而定 輸出: 9mV 或 5V 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~125℃ 量程:0-150,200,300,500,1000,1500,2000,3000,5000,7500(PSI) 典型應(yīng)用:液壓系統(tǒng),航空,高性能測試設(shè)備
EPB
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:小型、高量程、高精度、高頻響應(yīng)(400KHz) 供電電源:10VDC(標(biāo)準(zhǔn)) 輸出:0~125mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5,10,25,50,100,250,500,1000,2500,5000(PSI) 典型應(yīng)用:發(fā)動機(jī)、實驗機(jī)、風(fēng)洞、飛行器
EPL
電氣連接:電纜 類型: 表壓、絕壓 特點: 超小型表面貼裝,扁平結(jié)構(gòu),高頻響應(yīng)(350KHz) 供電電源:10VDC(標(biāo)準(zhǔn)) 輸出:0~125mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5,10,25,50,100,250,500,1000,2500,5000(PSI) 典型應(yīng)用:風(fēng)洞、火箭測試、爆炸測試、試驗過程監(jiān)測
EPN
電氣連接:電纜 類型:表壓、絕壓 特點:扁平結(jié)構(gòu) 供電電源:15VDC(標(biāo)準(zhǔn)) 輸出:0~350mV 精確度:0.25% FSO 工作溫度范圍:-40℃~120℃ 量程:0-5,15,25,50,100,250,500,1000,2500,3500,5000(PSI) 典型應(yīng)用:試驗過程監(jiān)測,風(fēng)洞、航空
產(chǎn)品介紹
壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。是將壓力轉(zhuǎn)換為電信號輸出的傳感器,壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件(或應(yīng)變計)組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變,然后由位移敏感元件或應(yīng)變計轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號。正壓電效應(yīng)是指:當(dāng)晶體受到某固定方向外力的作用時,內(nèi)部就產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,同時在某兩個表面上產(chǎn)生符號相反的電荷;當(dāng)外力撤去后,晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài);當(dāng)外力作用方向改變時,電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。
產(chǎn)品特點 靈敏度高,溫度范圍寬。 應(yīng)用范圍 高頻動態(tài)壓力測量。 技術(shù)指標(biāo)
量程 | 0MPa~2.5MPa,0MPa~4MPa | ||
靈敏度 | (800~1200)pC/MPa | 工作溫度 | -40℃~+125℃ |
過載能力 | ≤120%F.S | 抗沖擊 | 4500g |
固有頻率 | ≥200kHz | 接口 | 螺紋M12×1 |
上升時間 | ≤3μs | 探頭直徑 | Φ8×4mm |
非線性 | ≤0.5% | 輸出信號 | L5 |
特點 | 靈敏度高、溫度范圍寬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 高頻動態(tài)壓力測量 |
CYG400高頻動態(tài)壓力傳感器
產(chǎn)品綜述:
在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、材料、力學(xué)、土木工程學(xué)、巖土力學(xué)、創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)、液壓動力機(jī)械試驗等科學(xué)試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、值,這就要求所用壓力傳感器具有高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應(yīng)頻帶,以足夠的動態(tài)測壓精度,本系列產(chǎn)品即是為此設(shè)計開發(fā)的,它利用微機(jī)械加工技術(shù)使得集成硅膜片尺寸小,固有頻率高;有優(yōu)良的彈性力學(xué)特性,綜合性能優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器,是動態(tài)測壓的。
產(chǎn)品型號:
一、CYG401型(高頻壓力傳感器)
1、特 點:采用感壓膜片齊平封裝設(shè)計,消除管腔效應(yīng),因而傳感器頻響極高。
2、量程及動態(tài)特性:
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時間 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介質(zhì)溫度: -40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬時超高溫2000℃/20ms
4、補(bǔ) 償 溫 度: J級-10℃~60℃;M級0℃~50℃。亦可按用戶要求特訂。
5、抗 光 敏 感: J級可加強(qiáng)抗紅外及可見光;M級抗可見光
6、精 度 檔 級:
指標(biāo) 檔級 | 零點時漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復(fù)性、遲滯 %FS |
JA | 0.1 | 3 | 3 | 0.5 | 0.3 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.2 | 5 | 5 | 0.5 | 0.3 |
MB | 0.15 | 3 | 3 | 0.2 | 0.2 |
1、特 點:本產(chǎn)品為國家攻關(guān)項目,采用耐高溫S0I型感壓膜片齊平封裝設(shè)計,消除管腔效應(yīng)。
2、量程及動態(tài)特性:
量 程 MPa | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時間 μs | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
3、工作介質(zhì)溫度:-40℃~200℃,特殊措施下可耐瞬時超高溫2000℃/100ms
4、補(bǔ) 償 溫 度:-10℃~150℃,亦可按用戶要求特訂
5、抗 光 敏 感:抗紅外及可見光
6、精 度 檔 級:
指標(biāo) 檔級 | 零點時漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復(fù)性、遲滯 %FS |
JA | 0.1 | 5 | 5 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 1 | 1 | 0.2 | 0.1 |
三、CYG404型(特種高溫動態(tài)壓力傳感器)
特 點:本產(chǎn)品為特殊設(shè)計專用產(chǎn)品,國家863成果,采用耐高溫SOI力敏元件,及特殊結(jié)構(gòu)設(shè) 計,
從而傳感器仍有較高頻響的同時,具有耐平衡高溫和瞬時超高溫的能力,需特殊訂貨。
量 程:0~10MPa至0~60MPa全量程覆蓋。
固有頻率:大于20KHz
工作介質(zhì)溫度:耐平衡高溫220℃、瞬時高溫2000℃/1000ms(或協(xié)商特訂)
四、CYG406型(動態(tài)微壓傳感器)
特 點:采用微機(jī)械加工微型壓阻力敏芯片,及盡量避免管腔效應(yīng)影響,同時又具有較好抗光影響及介
質(zhì)導(dǎo)電性影響的準(zhǔn)齊平結(jié)構(gòu)設(shè)計,因而傳感器在低微壓量程有較優(yōu)良的動態(tài)頻率特性、靜態(tài)特
性及寬的介質(zhì)適應(yīng)能力
量程及動態(tài)特性:
量 程 KPa | 1 | 4 | 10 | 25 | 10 | 250 | 600 |
固有頻率 KHz | >5 | >5 | >20 | >100 | >150 | >300 | >300 |
上升時間 μs | 5 | 5 | 2 | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
工作介質(zhì)溫度:-40℃~105℃,特殊措施下可耐瞬時超高溫2000℃/20ms。
補(bǔ) 償 溫 度:J級-10℃~60℃;M級0℃~50℃。亦可按用戶要求特訂。
指標(biāo) 檔級 | 零點時漂 mv/8h | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 非線性 ±%FS | 不重復(fù)性、遲滯 %FS |
JA | 0.15 | 3 | 3 | 0.5 | 0.2 |
JB | 0.1 | 2 | 2 | 0.2 | 0.1 |
MA | 0.3 | 5 | 5 | 0.5(1.0*) | 0.3 |
MB | 0.2 | 3 | 3 | 0.2(0.5*) | 0.2 |
注:*為4MPa以下量程參數(shù)
五、CYG409型(水冷高頻高溫壓力傳感器)
特 點:本產(chǎn)品為國家創(chuàng)新基金項目成果,采用SOI高溫壓阻力敏芯片,齊平封裝,消除管腔效應(yīng),
同時采用強(qiáng)制水冷結(jié)構(gòu),使得傳感器在高溫工況下仍具有極優(yōu)良的高頻動態(tài)特性。
量程及動態(tài)特性:
量 程 MPa | 1 | 2 | 4 | 6 | 10 | 20 | 40 | 60 | 100 |
固有頻率 KHz | 180 | 240 | 320 | 250 | 320 | 450 | 600 | 800 | 1000 |
上升時間 μs | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 |
氣體介質(zhì)溫度:J級20℃~450℃;M級20℃~300℃。
供電電源:
傳感器輸出信號模式的產(chǎn)品,請用恒流源供電,供電電流大小參考產(chǎn)品卡片。無恒流源使用條件的用戶,可在訂貨時說明恒壓供電電壓,我方可在傳感器中加裝恒流源,建議使用電壓為15VDC或12VDC。
CYG1400高頻動態(tài)壓力變送器
各傳感器型號均可配置下列寬帶信號處理器,構(gòu)成寬帶動態(tài)壓力變送器。傳感器與信號處理器一體
式結(jié)構(gòu)訂貨代號:YT;分體式結(jié)構(gòu)訂貨代號:FT。凡訂購動態(tài)壓力變送器在原傳感器型號三位前加“1”,
例:CYG401高頻動態(tài)壓力傳感器,CYG1401 YT高頻動態(tài)壓力變送器。
寬帶信號處理器,按帶寬: 0~20KHz 訂貨代號MF
0~100KHz 上升時間1us, 訂貨代號HF
0~200KHz 上升時間0.5us, 訂貨代號UF
寬帶信號處理器一律要求用戶采用±15V線性電源供電,推薦采用朝陽軍用電源。
動態(tài)壓力變送器輸出信號模式:0~5V(可按用戶要求的電壓輸出模式特訂)
注意:動態(tài)壓力變送器的寬帶信號處理器單元只能承受-20℃~100℃溫度,高溫動態(tài)壓力變送器使用時
應(yīng)注意合理使用。
六、CYG1411型(自由場高頻動態(tài)壓力變送器)
特 點:本系列是專為爆破力學(xué)實驗設(shè)計的無反射自由場動態(tài)壓力傳感器,采用MEMS壓阻芯片為敏感
元件,因而具有比壓電傳感器更高的固有頻率,快一個數(shù)量級的上升時間,上升時間亞微秒
量級1~0.2μs。及從零頻率開始的極寬頻帶響應(yīng),且信噪比極好。本產(chǎn)品內(nèi)裝寬帶放大器,
可輸出0~2V或0~5V的信號。
量 程:0~2MPa至0~60MPa全量程覆蓋
固有頻率:200KHz~1MHz 可用帶寬:0~1/3固有頻率
精度等級:
指標(biāo) 檔級 | 精度等級 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4/℃.FS | 零位短期時漂 %FS/24h | 穩(wěn)定性 %FS/1年 |
JA | 1.0 | 5 | 5 | 0.2 | 0.5 |
JB | 0.5 | 3 | 3 | 0.15 | 0.3 |
JC | 0.25 | 1.5 | 1.5 | 0.1 | 0.1 |
美國M102A系列超低溫動態(tài)壓力傳感器(-253℃):
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美國M102A系列超低溫動態(tài)壓力傳感器(-253℃)美國M102A系列超低溫動態(tài)壓力傳感器(-253℃)
美國M105系列小型動態(tài)壓力傳感器:
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美國M112、116系列高溫壓力傳感器 動態(tài)壓力傳感器美國M112、116系列高溫壓力傳感器 動態(tài)壓力傳感器:(315℃)
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美國PCB M132系列超微型高頻響爆炸壓力傳感器:
M132系列超微型高頻響沖擊波/激波/爆炸壓力傳感器 | |||||||||||||||||||
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M132系列高頻響沖擊波/激波/爆炸微型壓力傳感器:
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PCB小型壓力傳感器PCB高頻動態(tài)壓力傳感器 (沖擊波/激波/爆炸)
PCB小型壓力傳感器PCB高頻動態(tài)壓力傳感器 (沖擊波/激波/爆炸)
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測量范圍 | -100KPa~0~10KPa…200KPa...1MPa...100MPa |
過載能力 | 2倍滿量程壓力(其中100MPa的產(chǎn)品過壓為1.1倍滿量程壓力) |
壓力類型 | 表壓、絕壓、負(fù)壓 |
測量介質(zhì) | 與316不銹鋼兼容的氣體或液體 |
綜合精度 | ±0.1 %FS、±0.25%FS、±0.5%FS、±0.75%FS |
固有頻率 | 150KHz~2MHz |
變送器頻響 | 0~1KHz~200KHz |
上升時間 | 0~1mS~2μS |
長期穩(wěn)定性 | 典型:±0.1%FS/年、最大:±0.2%FS/年 |
工作溫度 | -40℃~85℃、特殊可為-10℃~200℃ |
零點溫度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
靈敏度溫度漂移 | 典型:±0.02%FS/℃、最大:±0.05%FS/℃ |
供電范圍 | 變送器供電:12~36VDC(一般24VDC)、±15VDC開關(guān)電源或線性電源 |
傳感器供電:恒流:1mA~4mA;恒壓:5VDC~24VDC | |
信號輸出 | 變送器輸出:4~20mA、1~5 V DC、0~10VDC、 0~5V DC |
傳感器輸出:1.5mV~15mV/V | |
負(fù)載電阻 | ≤(U-12)/0.02Ω |
分辨率 | 理論上無限小、通常1/10000 |
絕緣電阻 | 100MΩ,500VDC |
外殼防護(hù) | 電纜線為IP67和接插件連接為IP65 |
振動誤差 | ≤±0.01%FS(X、Y、Z軸,200Hz/g) |
接口及殼體 | 不銹鋼1Cr18Ni9Ti |
傳感器膜片 | 不銹鋼316L、硅 |
壓力類型 | 表壓-G、絕壓-A、負(fù)壓-L | |
測量范圍 | 0~ X KPa、 0~ X MPa、 0~ X 壓力單位 | |
項 目 | 代 碼 | 參 數(shù) |
頻響范圍 | H1 | 0~1KHz~3KHz |
H2 | 0~10KHz~20KHz | |
H3 | 0~100KHz~200KHz | |
綜合精度 | 1 | ±0.25%FS |
2 | ±0.5%FS | |
3 | ±0.75%FS | |
信號輸出 | E | 4~20mA |
V1 | 0~5VDC | |
V2 | 0~10VDC | |
V3 | 1~5VDC | |
過程連接 | N1 | M20x1.5 外螺紋 |
N2 | G1/4外螺紋 | |
N3 | G1/2外螺紋 | |
N4 | 客戶定制 | |
電氣連接 | T1 | 赫斯曼插頭 |
T2 | 航空插頭 | |
T3 | 電纜出線 | |
特殊定制 | F1 | 自由場(爆破專用) |
F2 | 平衡溫度200℃,瞬時可達(dá)2000℃ | |
選型舉例:AE-H-G-(0-1MPa)-H1-2-E-N1-T3 |