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智能型hmds真空系統(tǒng) hmds預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱可快速、均勻、經(jīng)濟(jì)高效地用六甲基二硅烷 (hmds) 對(duì)晶圓表面進(jìn)行底漆處理，從而改善光刻膠的附著力。
更新時(shí)間:2024-12-20
掩膜版hmds真空烘箱 光罩hmds烘箱 hmds預(yù)處理烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷，增?qiáng)表面的黏附性（hmds-六甲基二硅胺烷）。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料
更新時(shí)間:2024-12-20
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