fz-14 區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)是為工業(yè)生產(chǎn)直徑達100毫米(4英寸)的單晶硅晶體而設(shè)計。根據(jù)源棒的尺寸,可以拉出長度達1. 1米的晶體。在這個過程中,晶體的直徑和液體區(qū)的高度可以通過攝像系統(tǒng)來監(jiān)測。并且該系統(tǒng)的上部主軸和線圈都是自動定位的。該系統(tǒng)采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產(chǎn)生高限真空環(huán)境,有效地防止了工藝過程中的污染,同時還能將氮氣以受控的方式引入工藝爐體。
更新時間:2024-08-15