半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleccr系統(tǒng))、4.5k(dualccr系統(tǒng))甚至低于4k(triple ccr系統(tǒng))的情況下能夠快速、經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行測試。低溫探針臺,設(shè)計(jì)用于支持在真空或氣體環(huán)境中對高達(dá)100mm、150mm或高達(dá)300mm的晶圓進(jìn)行自動動或半自動測試。 系統(tǒng)精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統(tǒng)建立在一個振動補(bǔ)償?shù)亩喙δ芷脚_上,能夠配置來各種測試應(yīng)用程序。
更新時間:2024-12-10