數(shù)顯恒溫加熱臺(tái),高精度加熱臺(tái)用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(pre-bake),烘(soft bake),底膠涂覆(primer vapor)和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ito導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復(fù)性好?稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
更新時(shí)間:2024-12-20