ZDL3/4型（數(shù)顯）冷陰極真空計（表） 產(chǎn)品說明：ZDL3型冷陰極真空繼電器 采用M014冷陰極規(guī)進行測量。利用潘寧放電原理，放電電流與被測真空系統(tǒng)的壓強呈非線性的特征測量真空。廣泛應(yīng)用于真空鍍膜，真空冶煉，真空排氣系統(tǒng)等設(shè)備的真空測量和控制。冷規(guī)采用反磁控原理，容易激化。 ZDL4型數(shù)顯冷陰極真空繼電器 是利用潘寧放電原理，放電電流與被測真空系統(tǒng)的壓強呈非線性的特性測量真空。一般可應(yīng)用于真空鍍膜，真空冶煉，真空排氣系統(tǒng)等設(shè)備的真空測量和控制。冷規(guī)采用反磁控式原理，容易激化。ZDL3型和ZDL4型技術(shù)指標： 測量范圍：1×10-1pa～1×10-5Pa（ZDL3）測量范圍：熱偶部分：1×10-1pa～1×10-5Pa（ZDL4）冷規(guī)工作電源：3～3.3KV 記錄輸出：0～+10V 正常工作條件：環(huán)境溫度：0～+40℃；相對濕度：不大于75％電源：AC220V±10％ 50Hz；工作環(huán)境：無強烈的機械振動和幅射。體積重量：119×320×280（mm）4kg 3kg
970系列971/972/974是一個家庭的結(jié)構(gòu)緊湊，成本低，通用傳感器，利用從一個到四個傳感器-冷陰極，micropirani™，和壓電技術(shù)。結(jié)合這些傳感技術(shù)能夠從大氣測量范圍寬10-8 Torr. 970 10-8乇。除了它的體積小，范圍廣泛，成本低，970系列971/972/974可以.通過數(shù)字通信或作為一個自主的模擬單元操作。
美國MKS真空計 MKS 970系列971/972/974冷陰極真空計優(yōu)勢：
•小巧的設(shè)計提供了一種緊湊傳感器解決方案存儲工具房地產(chǎn)
• Single transducer provides a wide measurement
•單傳感器提供了一個廣泛的測量大氣10-8乇的范圍(972B ａnd 974B models),（972b和974b模型），消除多個表的需要
• The MEMS based MicroPirani sensor
•基于MEMS的micropirani傳感器 972B 974B 在972b和974b允許低的汽車 (user冷陰極的開啟壓力（用戶
programmable from 2x10-4 to 1x10-3 Torr)
可編程從2x10-4到1×10 - 3毫米汞柱）提高可靠性
• The cold cathode anode module design is
•冷陰極陽極模塊的設(shè)計用戶可減少停機時間保存外部的修理費用
• All transducers include both analog and
•所有傳感器包括模擬量和為便于數(shù)字通信operation操作
• MicroPirani is automatically zeroed
•micropirani自動調(diào)零泵送循環(huán)的過程中提高了 (972B ａnd 974B models)精度（972b和974b模型）
• Mountable in any orientation for ease
•安裝在任何方向的易設(shè)計中的靈活使用
• Simplified interface via a single
•簡化接口通過一個單一的平滑的模擬輸出，結(jié)合單個傳感器的測量
• Three user configurable relays for process
•三用戶可配置的繼電器的過程control控制
• Alternate analog output ａnd electrical
•交替的模擬輸出電可另配連接器供應(yīng)商的儀表和方便容易升級
• Can be used with the PDR900 controller
•可以用pdr900控制器for easy set up容易設(shè)置
• RoHS ａnd CE Compliant
•CE和ROHS標準
美國MKS真空計 MKS 970系列971/972/974冷陰極真空計應(yīng)用：
970系列傳感器是緊湊的，低成本的解決方案，用戶對真空測量操作在大氣壓力范圍10-8乇。該系列的小尺寸970個傳感器，使他們的理想的系統(tǒng)集成商希望減少足跡使小型化。應(yīng)用包括：
• Analytical equipment (mass spectrometer control)
•分析設(shè)備（質(zhì)譜儀控制）
• Scanning electron microscopes
•掃描電子顯微鏡
• Coating systems
•涂層系統(tǒng)
• Semiconductor loadlock pressure control
•半導(dǎo)體的負載壓力控制
• General vacuum base pressure measurement
•一般真空壓力測量
美國Granville-Phillips真空計 GP 500系列冷陰極真空計結(jié)合高精度對流增強皮拉尼計電子提供了一個緊湊，方便，可靠，和真空測量從大氣到10-4乇的節(jié)約成本的解決方案。35年以上成功的現(xiàn)場安裝，該對流測偏儀表已成為一種行業(yè)標準。它是一種獨特的熱導(dǎo)率變化表上的壓力測量是基于從傳感器導(dǎo)線的熱損失率。不同于傳統(tǒng)的熱電偶和皮拉尼計，只使用導(dǎo)電的熱損失，由于對流測偏儀表，利用在較高壓力下的對流熱損失。這延伸的準確范圍，對大氣的可重復(fù)的測量。對流測偏儀表在使用今天的真空處理成千上萬的世界各地，使他們對許多真空應(yīng)用一個明智的選擇。模塊可提供模擬輸出，RS-485接口，和DeviceNet™接口。
美國Granville-Phillips真空計 GP 500系列冷陰極真空計優(yōu)勢：
l 從10-10到10-2乇•寬的壓力測量范圍
l 單獨校準量規(guī)提供最高的精度
l 顯示壓力表狀態(tài)
l RS-485通信接口與編程關(guān)閉狀態(tài)，輸出模擬信號開始點，和斜率
l USB接口可用于校驗儀的現(xiàn)狀和進行設(shè)置
l 量規(guī)的設(shè)計減少了關(guān)鍵元器件的壽命增加的污染
l 壽命指示器顯示在表需要維修
l 易于拆卸，電子和磁組件使烘烤、安裝方便
l 包括2個可編程設(shè)定繼電器
美國Granville-Phillips真空計 GP 500系列冷陰極真空計
•測量范圍寬：允許真空系統(tǒng)的性能進行連續(xù)監(jiān)測，從1x10-10到1x10-2托。
• Long Lifetime: Cold Cathode Gauges do not require a filament, which simplifies gauge construction, increases reliability ａnd lifetime, ａnd lowers the cost of ownership. An internal guard ring reduces contamination on critical components ａnd isolates leakage current from the measurement.
•壽命長：冷陰極規(guī)不需要燈絲，從而簡化了規(guī)范建設(shè)，提高可靠性和壽命，并降低擁有成本。一個內(nèi)部的保護環(huán)，減少污染和隔離關(guān)鍵元件的漏電流的測量。
• Quick Starting: The field emission starter provides faster ａnd more predictable start times.
•快速啟動：場發(fā)射起動機提供更快和更可預(yù)測的開始時間。
• Easy Access Magnet: Tool-free magnet removal simplifies gauge installation ａnd bakeout.
•易于訪問的磁鐵：免工具永磁除簡化了儀表安裝和烘烤。
• High Accuracy: For applications requiring higher precision, an optional calibrated Series 500 CCG provides ±10% accuracy.
•高精度：精度要求較高的應(yīng)用，一個可選的校準500系列提供10%的精度±CCG。
• Digital Display: Displays pressure, USB connectivity, RS-485 address, remaining lifetime, ａnd self diagnostics status.
•數(shù)字顯示：顯示壓力，USB連接，RS-485通訊，剩余壽命，和自診斷狀態(tài)。
• Status LEDs: Indicate when power is applied to the module, when discharge is achieved, the state of the 2 setpoint relays, ａnd if maintenance is suggested at the next PM or immediately.
•狀態(tài)LED：指示當(dāng)電源應(yīng)用到模塊，當(dāng)流量達到設(shè)定值的2，繼電器的狀態(tài)，如果維修是建議在下一個點或立即。
• Auto On/Off: The gauge can be programmed to turn ON automatically based on an analog voltage input coming from a higher pressure (i.e. Pirani) gauge. The Series 500 CCG can also automatically turn the gauge OFF based on the analog input and/or the pressure reading from the CCG itself.
•自動開/關(guān)：表可以被編程為將基于一個模擬電壓輸入來自于一個更高的壓力自動（即皮拉尼）計。500系列CCG還可以自動關(guān)閉測量儀的基礎(chǔ)上，模擬輸入和/或從CCG本身的壓力讀數(shù)。
• Easy Maintenance: Internal components are easily replaced for quick maintenance.
•維修方便：內(nèi)部部件易于更換快速維修。
• Baffle: Keeps sputtered material from entering your process chamber.
•擋板：保持濺射材料進入您的處理室。
• Lifetime Indicator: To avoid guesswork, the Series 500 CCG displays the estimated remaining lifetime of the gauge – the point at which accuracy is compromised ａnd gauge maintenance or replacement is recommended.
•壽命：避免猜測，500系列CCG顯示估計的剩余壽命的計–點精度受到損害，儀表維修或更換的建議。
• USB Interface: The USB port provides connection to a PC together with an easy-to-use software program to setup, control, view diagnostics status, ａnd display pressure trends. Communications over USB can occur while the gauge is ON without disrupting normal operation.
•USB接口：USB端口提供的連接到PC和一個易于使用的軟件程序設(shè)置，控制，查看診斷狀態(tài)，并顯示壓力的趨勢。在USB通信，計是在不破壞正常操作發(fā)生。
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