| | AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
| 流量范圍（span） | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
| 壓力范圍（psi） | | | | | ||
| （參照附錄） | | | ±2.0”水柱 | | ||
| 輸出電壓 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 標(biāo)定點(diǎn) | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
| 零點(diǎn)電壓 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零點(diǎn)漂移 | | | | | ||
| +25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85?C | | | | | ||
| 輸出電壓漂移 | | | | | ||
| Max | | | | | ||
| +25~-25?C | -4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | +24.0% 讀數(shù) | -5% 讀數(shù) | ||
| +25~+85?C | +4% 讀數(shù) | ±5.0% 讀數(shù) | -24.0% 讀數(shù) | +5% 讀數(shù) | ||
| 重復(fù)性& 遲滯Max | ±0.5% 讀數(shù) | ± 1% 讀數(shù) | ±0.5% 讀數(shù) | ±1% 讀數(shù) | ||
| | Min Typ. | Max. | | |||
| 電源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | | |||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | | |||
| 反應(yīng)時(shí)間（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | | |||
| 共模壓力（psi） <, /TD> | | 25 | | |||
| 工作溫度 | -25~85?C | | | |||
| 儲(chǔ)存溫度（?C） | -40~90?C | | | |||
| 沖擊（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） | | | |||
| 推薦型號(hào) | 量程 |
| AWM3100V | +200SCCM |
| AWM3201CR | ±0.5 英寸水 |
| AWM3200V | ±2 英寸水 |
| AWM3300V | +1000SCCM |
微橋氣流質(zhì)量傳感器是基于氣流流過(guò)傳感元件的熱傳輸工作原理，傳感器輸出電壓正比于流過(guò)內(nèi)部傳感元件的進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量；诘奈⒔Y(jié)構(gòu)技術(shù)，傳感器內(nèi)含一塊獨(dú)特的硅芯片-它包含薄膜電路、發(fā)熱及熱敏感元件的熱隔離橋電路，橋電路對(duì)流過(guò)芯片的氣流快速、靈敏的響應(yīng)。發(fā)熱體兩側(cè)的敏感元件還能指示氣流流過(guò)的方向。激光校整的厚膜電路及薄膜電阻了每個(gè)元器件一致的性能。微橋式氣流質(zhì)量傳感器利用熱敏電阻薄膜-被壓成薄片包含在絕緣材料厚膜電路中，他們被懸掛起來(lái)在硅片刻蝕空洞上形成橋狀，如右圖顯示，芯片被精確的安放在氣流通道上，流量傳感橋下的硅片刻蝕空洞的空氣間隙提供發(fā)熱體和熱敏元件之間的熱隔離。微橋式氣流質(zhì)量傳感器的小尺寸和熱隔離有助于氣流的快速響應(yīng)及高靈敏度。特殊設(shè)計(jì)的殼體精確地引導(dǎo)和控制氣流流過(guò)微橋，并能很方便的安裝在印刷線(xiàn)路板上。雙惠斯頓電橋控制氣流的測(cè)量一個(gè)提供閉環(huán)的發(fā)熱器控制，另一個(gè)包含雙傳感元件，發(fā)熱器控制線(xiàn)路把由于周?chē)h(huán)境溫度變化而引起的輸出溫飄減小到最小程度。此線(xiàn)路保持發(fā)熱器溫度恒定高于周?chē)h(huán)境溫度160?C，周?chē)h(huán)境溫度由芯片上的熱敏電阻測(cè)量得知，惠斯頓電橋的差壓即為隨電源電壓比率變化的傳感器輸出電壓。氣流中的灰塵平行流過(guò)芯片表面，另外熱遷移效應(yīng)能移走微米級(jí)的粒子，清潔了微電路，使用一些運(yùn)用中可能存在的污染被減少，在我們的加速壽命試驗(yàn)中，在低于50sccm速度氣流的典型的工業(yè)環(huán)境下，氣流質(zhì)量傳感器能達(dá)到20 年的預(yù)測(cè)壽命。由于灰塵附著在芯片邊緣而引起的堵塞在低速下可以簡(jiǎn)單地使用過(guò)濾網(wǎng)而解決，使用小格柵和高氣流阻抗的過(guò)濾網(wǎng)可得到的過(guò)濾效果- 當(dāng)大量灰塵堆積在過(guò)濾網(wǎng)上時(shí)，綜合阻抗不會(huì)顯著變化，可采用一次性使用的5 微米格柵的過(guò)濾網(wǎng)。特點(diǎn)：* 的微加工技術(shù)* 低氣流速度敏感-0.1sccm* 檢測(cè)流量200 升/ 分鐘* 快速響應(yīng)，低電流損耗，高反應(yīng)重復(fù)性* 激光刻蝕提供了器件的一致性* 低壓力精確測(cè)量（0.001-4”水柱）典型運(yùn)用：* HVAC 的風(fēng)門(mén)擋板控制* 氣體分析儀* 低真空控制* 過(guò)程控制* 醫(yī)用呼吸儀和肺活量?jī)x* 氧氣供應(yīng)* 麻醉控制儀* 氣體標(biāo)定注意：AWM 傳感器不能用于液體質(zhì)量測(cè)量，當(dāng)流過(guò)高速的液體流量時(shí)，傳感器可能會(huì)遭到破壞。
AWM2000系列氣體流量傳感器: AWM2000系列為無(wú)源器件，包含兩個(gè)惠斯頓電橋：一個(gè)為閉環(huán)的發(fā)熱控制電路，一個(gè)為雙傳感電路. 。雙向氣流傳感 。實(shí)際氣體質(zhì)量流量傳感 。流速0~30sccm 到0~1000sccm 。能承受最大共膜壓力25PSI 。需另加發(fā)熱器控制及傳感橋路供電電路 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC 。輸出電壓:最大50mV AWM3000系列氣體流量傳感器: AWM3000 系列是輸出為1-5V 或4~20mA的氣體質(zhì)量流量傳感器 。激光校整了一致的互換性 。測(cè)量流速可至1.0LPM 。能承受最大共膜壓力25PSI 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC AWM40000系列氣體流量傳感器： AWM40000 系列包括不帶放大和放大/ 信號(hào)處理的信號(hào)。氣體流量傳感器有一個(gè)由加熱器與溫度敏感元件組成的薄膜隔熱的電橋式結(jié)構(gòu)。該電橋式結(jié)構(gòu)對(duì)流過(guò)芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏和快速的反應(yīng)。AWM43600V 為6SLPM 器件。它主要的特點(diǎn)是： 。的微加工技術(shù) 。檢測(cè)流量0-6SLP 。工作溫度可至125℃ ？沙惺150PSI的共膜壓力 ？焖夙憫(yīng)，低電流損耗。 。零點(diǎn)和滿(mǎn)量程高穩(wěn)定性 應(yīng)用場(chǎng)合 ： 電纜充氣機(jī)，醫(yī)用呼吸機(jī)和肺活量?jī)x，氣體檢測(cè)設(shè)備，氣體標(biāo)定 AWM5000 系列氣體流量傳感器 AWM5000 系列為文丘里流量管形外殼，可以測(cè)量至20 升/分鐘，最大壓降2.25"水的氣流. 微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。每個(gè)AWM5000系列產(chǎn)品 都包括含放大` 線(xiàn)性修正` 溫度補(bǔ)償和氣體標(biāo)定，氣體標(biāo)定通過(guò)激光校整得到。各種流量接口可選 。文丘里管設(shè)計(jì) 。遠(yuǎn)程安裝 。激光校整CO2，N2 氬氣的標(biāo)定 。能承受50psi的共模壓力 。供電電壓:10VDC,輸出:5VDC 。工作溫度:-20~+70℃ AWM700 系列氣體流量傳感器 AWM700系列微橋大流量傳感器，提供了在線(xiàn)流量測(cè)量，和一個(gè)特殊設(shè)計(jì)的旁路封裝，這種傳感器測(cè)量流量可至標(biāo)準(zhǔn)200 標(biāo)準(zhǔn)升/ 分鐘（200SLPM），同時(shí)導(dǎo)致1 英寸水柱的壓降典型值。AWM720P1實(shí)現(xiàn)了小封裝下的大流量范圍，AWM720P1有一個(gè)6ms反應(yīng)時(shí)間，10V直流供電，耗電僅60mW，緊湊的塑料封裝，可承受過(guò)壓至25PSI，而不影響指標(biāo)。傳感器的AMP兼容連接件提供了的電氣連接。此傳感器也很適合于便攜設(shè)備和電池供電設(shè)備。AWM700系列傳感器，主要是為醫(yī)療呼喚機(jī)市場(chǎng)開(kāi)發(fā)的，可以滿(mǎn)足許多醫(yī)療和分析儀器的應(yīng)用需求！ 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC,輸出:5VDC 。能承受25psi的共模壓力