SJ6000激光干涉儀

一、產(chǎn)品簡介

SJ6000采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號,然后通過高精度激光 干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù),將數(shù)據(jù)通過計算機(jī)進(jìn)行顯示和動態(tài)分析。

使用時,操作者先按照設(shè)計的幾何光路安裝相配合的鏡組,幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎(chǔ)設(shè)計的,下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖:

邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來,這兩束光從而能 夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實現(xiàn),從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點(diǎn)的軌跡,因此,要 分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。

搭建好幾何光路后,在檢定軟件上設(shè)定測量的開始、結(jié)束位置,點(diǎn)擊“開始”按鈕,軟件界面會實時顯示測量所得動態(tài)數(shù)據(jù);掃描結(jié)束后,操作者可通過對測量所得 數(shù)據(jù)曲線進(jìn)行分析,得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測標(biāo)準(zhǔn)對被測件的各項參數(shù)進(jìn)行合格判定,檢測結(jié)束后自動生成檢定 結(jié)果。

二、特點(diǎn)優(yōu)勢三、技術(shù)參數(shù)
1       線性測長距離 40m          
2 線性測長精度 ±(0.02+0.5L)um
3 激光穩(wěn)頻精度 0.05ppm
4 分辨率 0.001um
5 *大測量速度 4.0m/S
6 動態(tài)采集頻率 50KHZ
7 預(yù)熱時間 5~10分鐘
8 環(huán)境補(bǔ)償精度

空氣壓力:±1.0mBar,

空氣濕度:±6%,

材料溫度:±0.1℃

9 基本重量(含三腳架,包裝) 15Kg
該公司產(chǎn)品分類: 粗糙度輪廓儀 晶圓形貌測量系統(tǒng) 測長機(jī) 臺階儀 圖像尺寸測量儀 晶圓形貌測量系統(tǒng) 半導(dǎo)體業(yè)檢測設(shè)備 顯微尺寸測量儀 測長機(jī) 一鍵閃測儀 光學(xué)影像測量儀 二次元影像測量儀 機(jī)床測頭 在機(jī)測量系統(tǒng) 激光測長機(jī) 光柵測長機(jī) 三坐標(biāo)測量機(jī) 激光干涉儀 激光跟蹤儀 激光測量儀

F-DGS1160多光束的干涉(F-P掃描干涉儀)

 

實驗內(nèi)容:

1、調(diào)整兩個反射鏡之間的相對位置,使之平行,形成F-P干涉儀。

2、觀察激光在F-P干涉儀中的多光束干涉現(xiàn)象,了解F-P干涉儀的工作原理和理論。

3、改變腔長,測量計算干涉儀的特征參數(shù)。用壓電陶瓷微調(diào)兩個反射鏡的間距,觀察其對透射光波長的掃描特性,了解F-P掃描干涉儀的工作原理。觀察激光器的頻率特性,測量激光器的特征參數(shù)。

 

 

該公司產(chǎn)品分類: 法拉第效應(yīng) 光學(xué)儀器 光電與光伏技術(shù) 激光全息技術(shù) 激光測量與干涉儀 近代光學(xué) 光纖光學(xué)與信號傳輸 激光原理及應(yīng)用 傅立葉光學(xué) 基礎(chǔ)光學(xué)

供應(yīng)曲率半徑測量干涉儀︱干涉儀

 
 光學(xué)精密機(jī)械 >> 干涉儀 >> 曲率半徑測量干涉儀︱干涉儀
 
產(chǎn)品編號:
111410303416
產(chǎn)品名稱:
曲率半徑測量干涉儀︱干涉儀
規(guī)  格:
 
產(chǎn)品備注:
 
產(chǎn)品類別:
光學(xué)精密機(jī)械
 
   產(chǎn) 品 說 明
 

產(chǎn)品說明:

使用干涉儀,可以評估曲率半徑較小的凹面鏡的曲率半徑值。

 

特點(diǎn): ● 可以觀測到凹面鏡反射干涉條紋的鏡面位置有個。 ● 一個是在圖中所示雙膠合透鏡的焦點(diǎn)處,另一個是被測凹面的曲率中心和其焦點(diǎn)重合的

位置。       ● 讀取移動此樣品平臺的微分頭的刻度值,便可得到凹面樣品的曲率半徑。

產(chǎn)品 >> 光學(xué)精密機(jī)械 >> 干涉儀   共有 18 個產(chǎn)品
 
 
 
 
 
名稱: 相干長度測量儀︱干涉儀
編號: 111410325916
 
 
 
 
 
名稱: 曲率半徑測量干涉儀︱干涉儀
編號: 111410303416
 
 
 
 
 
名稱: 微小樣品觀測用干涉儀︱干涉儀(DTM-MMHI型)
編號: 111410291616
 
 
 
 
 
名稱: MICROR Series 微型系列
編號: 11816153316
 
 
 
 
 
名稱: IFS-SR-25 施利倫法 / 紋影法裝置
編號: 11816142516
 
 
 
 
 
名稱: 斐索干涉儀
編號: 11816132416
 
 
 
 
 
名稱: IFS-MZ-25 馬赫-曾德干涉儀
編號: 11816111216
 
 
 
 
 
名稱: IFC-TG 目標(biāo)靶組件
編號: 11816101616
 
 
 
 
 
名稱: 準(zhǔn)直檢驗組件
編號: 118169116
該公司產(chǎn)品分類: 光學(xué)儀器

Agilent 5529A雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品簡介

隨著精密機(jī)械零件的要求在繼續(xù)增加,Agilent 5529A動態(tài)校準(zhǔn)系統(tǒng)能幫助機(jī)床用戶獲得成功。Agilent 5529A為機(jī)床制造商和用戶提供測量機(jī)床定位和精度的基本部件;用經(jīng)補(bǔ)償?shù)臄?shù)據(jù)校準(zhǔn)機(jī)床的定位誤差;診斷幾何形狀問題;以及符合7種國際標(biāo)準(zhǔn)的機(jī)床性能文檔。

您可用Agilent 5529A選擇全套校準(zhǔn)部件,包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補(bǔ)償板、材料和空氣傳感器、光纖套件、電纜和附件。您也可選擇3種預(yù)配置系統(tǒng)(不包括光纖)。

Agilent 5529B基本系統(tǒng):包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補(bǔ)償板、材料和空氣傳感器、電纜和附件。

Agilent 5529V Vectra系統(tǒng):包括校準(zhǔn)器和材料補(bǔ)償板、HP Vectra PC和super VGA顯示。

Agilent 5529U升級系統(tǒng):包括校準(zhǔn)器和材料補(bǔ)償板、適配器電纜,您能從Agilent 5528A升級到Agilent 5529A。

特性:

l    專利Agilent激光管設(shè)計,性MTBF大于 50,000 小時

l    用戶友好的Windows軟件

l    文檔使用8種語言:英語、法語、德語、意大利語、日語、西班牙語,以及簡體和繁體漢語

l    符合7種國際標(biāo)準(zhǔn): NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89

l    在線幫助

如果需要詳細(xì)的資料請發(fā)Email:xie_feng79@163.com

ML10 Gold激光干涉儀

儀器介紹     ML10 Gold 高性能激光干涉儀是機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)及其它定位裝置精度校準(zhǔn) 用的高性能儀器。由于采用了獨(dú)特的專利設(shè)計及的光電子技術(shù),使ML10 Gold 激光干涉儀比市場上其它型號的激光干涉儀具有更高的性能和更的任選功能。 ML10 Gold 激光干涉儀提供有進(jìn)行機(jī)器位置、幾何精度測量的全套光學(xué)器件。 ML10 Gold 激光測量系統(tǒng)所有功能都設(shè)計與Laser 10 軟件配合使用。除了測 量和分析診斷功能外,此軟件包的標(biāo)準(zhǔn)配置還包括動態(tài)測量、旋轉(zhuǎn)軸測量、雙軸測 量和電子水平儀及千分表程序接口模塊。 該激光干涉儀系統(tǒng)由激光頭ML10 Gold、環(huán)境監(jiān)測補(bǔ)償器EC10,計算機(jī)接口卡 PC10* 或PCM20* 及高精度的光學(xué)器件組成。全部器件放在一個配小車的提箱內(nèi), 一人便可攜帶全部系統(tǒng)赴異地進(jìn)行機(jī)器精度檢定,大大改善了激光干涉儀的便攜 性。 該激光干涉儀系統(tǒng)通過接口與IBM 兼容的PC 機(jī)(包括筆記本計算機(jī))連接, 在靈活、直觀的軟件控制下進(jìn)行自動測量,既節(jié)省了測量時間,又避免了人為誤 差,并能按國際上通行的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析處理,如ISO230-2、JIS-B6330、 VDI3441、VDI2617、ASME B89等并適用中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB17421-2000等,以便于按 不同標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行機(jī)床精度的評定和比較。 技術(shù)參數(shù)     1.線性測量分辨率: 0.001μm2.線性測量范圍: 40m(或任選80m)3.線性測量精度: ±0.7ppm4.測量速度: 60m/min5.穩(wěn)頻精度: ±0.05ppm  

雙頻激光干涉儀ZLM700

產(chǎn)品功能     定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量,還能夠測量數(shù)控機(jī)床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度等,從而實現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量,廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。性能優(yōu)勢

l          真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l          測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計,各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能(如僅測量直線度),則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件(直線度光學(xué)鏡),其他不需要的功能暫時可以不采購;若后期有其他功能的需求,補(bǔ)充采購功能對應(yīng)的部件即可。
l          激光器壽命更長,可達(dá)20000小時,激光穩(wěn)頻精度高,一小時內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達(dá)±0.4ppm
l          計算機(jī)輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更。
l          采樣頻率更快,達(dá)1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。
l          被測物體最大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達(dá)0.6nm(當(dāng)移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm)。
l          無加速度限制;當(dāng)光線微弱時,性能也十分穩(wěn)定。
l          信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量,請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀,最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。
工作原理
專利型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測量,不會出現(xiàn)干擾誤差,信號延時時間極短。
采用光纖電纜,把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C(jī)卡槽連接的電子計數(shù)器上,避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此,ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實驗室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號:ZLM700
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度:
一小時2x10-9±0.002ppm
壽命內(nèi)2x10-8±0.02ppm
系統(tǒng)精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm可選3.2mm
激光管突發(fā)最大輸出功率:
1mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù):
1
線性測量距離:
40m,可擴(kuò)展為120m
角度測量范圍:
± 15°,20m軸線范圍
平面度測量范圍:
20m行程
直線度測量范圍:
± 5mm2m10m行程,
選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍:
± 5mm,2m10m行程,
30m行程需用角度干涉儀
最大速度:
4m/s,可選16m/s
80rad/s,角速度
最大加速:
無限制
采樣頻率:
內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預(yù)熱時間:
10分鐘
精度/非線性:
±0.3nm (角隅反射鏡
±0.1nm (平面反射鏡
距離測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
距離測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測量分辨率:
0.6nm (角隅反射鏡
0.3nm (平面反射鏡
0.1nm 可選
線性度測量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中時
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測量精度:
±0.5ppm實測值
角度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
角度測量精度:
±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒
平面度測量精度:
±0.2%實測值
±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm,2m行程
直線度測量精度:
±0.5%實測值,2m行程
± 2.5%實測值,10m行程
垂直度測量分辨率:
36nm,10m行程
7.25nm,2m行程
垂直度測量精度:
±0.5%實測值2m,± 0.5弧秒*
±2.5%實測值10m,± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口:
積分信號 32 Bit (實時時間Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn):
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環(huán)境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝
 

應(yīng)用光路圖

以上為直線度測量示意圖,包括水平方向直線度和垂直方向直線度

以上是平面度測量示意圖

以上是垂直度測量示意圖

 以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖

以上是對角測量示意圖

 以上是俯仰角測量示意圖

以上是偏擺角測量示意圖

以上是滾動角測量示意圖

以上是回轉(zhuǎn)臺定位精度測量示意圖

資料下載耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本(中文).pdf激光干涉儀說明書(中文).pdf

該公司產(chǎn)品分類: 變送器/信號轉(zhuǎn)換器 多通道溫度測量儀 載波包絡(luò)相位檢測儀 色散測量儀 激光對中儀 孔同軸度檢測儀 激光平面度檢測儀 激光幾何測量系統(tǒng) 激光平行度檢測儀 雙頻激光干涉儀 表面粗糙度輪廓儀

Fabry-Perot太赫茲Fabry-Perot掃描干涉儀

  高分辨測量可達(dá)至120MHz用戶可選的頻率范圍容易操作的軟件可按照客戶要求訂制 技術(shù)參數(shù):測量頻率范圍1):10~100 cm-1(30GHz~3THz)光譜自由程:0.8~20 cm-1分辨率2):4 x 10-3 cm-1金屬柵格間隔距離:0~12 mm(或根據(jù)客戶要求選擇)間隔距離精度:+ / - 5 um光束高度: 100 mm有效通光孔徑: 20 mm(或根據(jù)客戶要求選擇)尺寸: 160 (L) x 120 (W) x 130 (H) mm3重量:2.5 kg 1: 用戶選擇范圍:10~30cm-1 或者 30~100cm-1 

該公司產(chǎn)品分類: 其它光學(xué)測量儀 其它粒度分析儀 其它 光鑷(光學(xué)鑷子) 溫濕度計 紫外、紫外分光光度計、紫外可見分光光度計、UV 光度儀、霧度儀、光澤度儀 紅外光譜(IR、傅立葉) 光學(xué)儀器組件 其它光譜儀 表面張力儀(界面張力儀) 蒸汽吸附儀/蒸氣吸附儀

111光纖干涉儀

 

【激光系列產(chǎn)品】
 
 固體激光器 半導(dǎo)體激光器 氣體激光器 離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調(diào)Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計 激光護(hù)目鏡 激光波長測量 激光光束分析儀 多通道激光功率計 大功率激光器 激光光束位置測量儀 激光擴(kuò)束鏡 激光準(zhǔn)直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩(wěn)定性激光器 相干型激光器 自相關(guān)儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測量 熱電制冷片 激光光束定位系統(tǒng) 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計
 
【光譜測試儀器】
 
 紫外可見光譜儀 便攜式光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學(xué)型光譜儀 LED光測量光譜儀 色坐標(biāo)色溫測量儀 燈具光譜測量儀 透射譜吸光度光譜儀 絕對輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測量儀 橢偏儀 太陽能電池IPCE測量系統(tǒng) 太陽能電池QE測量系統(tǒng) 太陽能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng) 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環(huán)境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測量 信號發(fā)生器 近紅外谷物接收系統(tǒng) 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀
 
【光學(xué)精密機(jī)械】
 
 干涉儀 光學(xué)平臺 光學(xué)鏡架 手動平移臺 手動旋轉(zhuǎn)臺 手動擺動臺 手動組合平臺 電動平移臺 電動轉(zhuǎn)動臺 電動擺動平臺 電動組合平臺 壓電陶瓷平臺 壓電陶瓷制動器 高穩(wěn)定防震平臺
 
【光源】
 
 氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 鹵素?zé)艄庠?/span> 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽模擬器 紫外固化機(jī) 寬帶超連續(xù)光源 顯微鏡光源
 
【光學(xué)影像】
 
 紫外CCD相機(jī) 近紅外CCD相機(jī) 制冷型CCD相機(jī) 高速相機(jī)   顯微鏡 CID相機(jī) 紅外相機(jī)/熱像儀
 
 
【光學(xué)元件】
 
 窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學(xué)基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長板 擴(kuò)散板 起偏器 光學(xué)鏡頭 光纖產(chǎn)品 光柵尺 光柵
 
【光通信儀器】
 
 ASE光源 光纖放大器 光通信激光器 光功率計 可調(diào)諧激光光源 光纖測量系統(tǒng) 光衰減器 光纖熔接機(jī) 光通信探測器 光調(diào)制器 SLED光源 SLED模塊 光源 高功率EDFA 光收發(fā)機(jī) 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器
 
【生物分析儀器】
 

 動物注射泵 樣品均質(zhì)器 粘合劑分配器 蠕動泵

111斐索干涉儀

 

【激光系列產(chǎn)品】
 
 固體激光器 半導(dǎo)體激光器 氣體激光器 離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調(diào)Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計 激光護(hù)目鏡 激光波長測量 激光光束分析儀 多通道激光功率計 大功率激光器 激光光束位置測量儀 激光擴(kuò)束鏡 激光準(zhǔn)直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩(wěn)定性激光器 相干型激光器 自相關(guān)儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測量 熱電制冷片 激光光束定位系統(tǒng) 視頻顯微鏡測量系統(tǒng) 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計
 
【光譜測試儀器】
 
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該公司產(chǎn)品分類: 光學(xué)儀器
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