表面輪廓儀臺(tái)階儀

本公司精力打造高科技產(chǎn)品，力爭(zhēng)成為國(guó)內(nèi)科研儀器供應(yīng)商。同時(shí)，我們售前，售中，售后全程為您服務(wù)。歡迎來(lái)電咨詢!

表面輪廓儀臺(tái)階儀 參數(shù)：

標(biāo)準(zhǔn)              

表面輪廓儀臺(tái)階儀 產(chǎn)品說(shuō)明：

暫無(wú)
該公司產(chǎn)品分類： 大龍移液器 廣電通訊檢測(cè)分析儀器類 廣電通訊 磁性工具 恒溫/加熱/制冷 常用通風(fēng)設(shè)備 通風(fēng)采暖照明 氣動(dòng)工具 熱學(xué)分析儀器 移液/分液 防靜電設(shè)備 低壓控制 試劑及耗材 靜電/無(wú)塵 電氣及自動(dòng)化 電動(dòng)工具 測(cè)繪無(wú)損檢測(cè) 量具 工具 力學(xué)檢測(cè)儀器

TDK-2智能型電子型臺(tái)階儀

天地寬牌TDK-2智能型

臺(tái)階測(cè)試儀

功能簡(jiǎn)介：測(cè)試定量負(fù)荷后心率變 化情況，評(píng)定人體心血管機(jī)能

儀器特點(diǎn)：

1.超大中文液晶顯示，語(yǔ)音同步

2.利用高靈敏度紅外感應(yīng)探頭，的測(cè)量人體臺(tái)階指數(shù)。

3.可同時(shí)進(jìn)行多人同測(cè)

 

     

 

該公司產(chǎn)品分類： 中考體育專用儀器 體質(zhì)測(cè)試儀

進(jìn)口日本東精精密SURFCOM臺(tái)階儀S480B中國(guó)區(qū)一級(jí)代理特優(yōu)價(jià)

   產(chǎn) 品 說(shuō) 明

 

概述：     從操作人員的角度，追求機(jī)器的操作性的小型表面粗糙度測(cè)定機(jī)。

主要特點(diǎn)：   1.TFT大屏幕彩色液晶觸摸屏，簡(jiǎn)單實(shí)用     大畫面、高清晰度的彩色液晶觸摸屏與簡(jiǎn)便的圖標(biāo)觸擊輸入，使操作簡(jiǎn)單流暢。觸摸屏可以使用標(biāo)準(zhǔn)

    配備的觸摸筆或手指進(jìn)行輸入，方便在現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境中使用。   2.AI功能，操作簡(jiǎn)單，減少操作失誤     AI功能（專利申請(qǐng)中）根據(jù)被測(cè)表面狀態(tài)自動(dòng)設(shè)定最佳測(cè)量條件，包括測(cè)量范圍、評(píng)價(jià)長(zhǎng)度、截止波

    長(zhǎng)和記錄放大倍率。   3.世界各國(guó)通用     分析參數(shù)可以基于JIS（2001/1994/1982）、ISO、DIN、ASME、CNOMO等各國(guó)規(guī)格選擇參數(shù)，使用語(yǔ)言

    有日語(yǔ)、英語(yǔ)、德語(yǔ)、法語(yǔ)、意大利語(yǔ)、西班牙語(yǔ)可供選擇，供電電源可使用AC100~240V。本測(cè)量機(jī)

    通過(guò)了歐洲的安全規(guī)格CE標(biāo)志。   4.滿足各種需求的分析功能     裝載有Ra、Rz、Ry、Sm、S、tP等共34種粗糙度、32種波紋度的分析參數(shù)？梢赃M(jìn)行電氣零部件的段差、

    膜厚以及面積等的分析   5.測(cè)量向?qū)Чδ?     此功能可顯示測(cè)量順序，以便使初次使用測(cè)量機(jī)的人也能順利進(jìn)行操作。   6.個(gè)性化圖標(biāo)設(shè)計(jì)，方便操作     采用個(gè)性化功能，可以只選擇使用頻度高的圖標(biāo)，自由進(jìn)行圖標(biāo)配置，由此來(lái)制定操作者專用的菜單，

    進(jìn)行高效率的測(cè)量作業(yè)。   7.再計(jì)算功能降低了測(cè)針磨損，提高了效率     測(cè)量完成后，即使測(cè)量條件不對(duì)，也不需要重新測(cè)量，只需更改分析條件（規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)、傾斜補(bǔ)正方式、

    截止波長(zhǎng)等），既可以完成對(duì)測(cè)量結(jié)果的再分析，同時(shí)用戶也可以根據(jù)自己的需要選擇任意一段或多段

    作為自己的評(píng)價(jià)范圍。   8.備注功能，方便數(shù)據(jù)處理     可以在記錄畫面上書寫的簡(jiǎn)單圖形、文字并如實(shí)地打印到記錄紙上，便于操作者實(shí)時(shí)進(jìn)行打印結(jié)果分類。   9.杰出的分析功能     測(cè)臺(tái)階高度：可方便地測(cè)量集成塊、磁頭和其它臺(tái)階高度及膜厚和面積的測(cè)量。     多種補(bǔ)償功能：標(biāo)配多種補(bǔ)正功能，有直線、R面、前半、后半、兩端及花鍵曲線，方便不同工件測(cè)量的要求。     刻槽功能：可評(píng)價(jià)所需要部分或刪除不必要得凹槽或凸起部分，方便測(cè)量。     各種曲線：通過(guò)各種曲線數(shù)據(jù)（負(fù)荷曲線、功率譜曲線等），進(jìn)行產(chǎn)品性能的高級(jí)分析。  10.多種輸出方式：     通過(guò)打印單元，只需按一個(gè)按鈕即可實(shí)時(shí)打印結(jié)果，方便快捷。     通過(guò)數(shù)據(jù)線連接串口（RS-232C），可以把測(cè)量條件、參數(shù)值、輪廓曲線等直接傳輸?shù)诫娔X中。

 11.自動(dòng)停止功能：

    測(cè)針在垂直方向接觸物體會(huì)自動(dòng)停止并歸零，而不必?fù)?dān)心測(cè)針過(guò)載。

 

技術(shù)參數(shù)：

 
 

該公司產(chǎn)品分類： 尼康 卡規(guī)、角度尺、水平儀 步距規(guī)、 量塊、測(cè)厚規(guī) 測(cè)長(zhǎng)儀 數(shù)碼工程打印機(jī) 其他各種常用量具 數(shù)顯表、百分表、杠桿表 卡尺、千分尺、微分頭 材料試驗(yàn)機(jī) 除銹油 美國(guó)施泰力 東京精密 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 涂層測(cè)厚儀 鍍層測(cè)厚儀 測(cè)量投影儀、影像測(cè)量?jī)x 電子天平、水分測(cè)試儀 色差、光澤計(jì) 齒輪測(cè)量?jī)x 顯微鏡、內(nèi)窺鏡

DEKTAK XTBRUKER 臺(tái)階儀 DEKTAK XT

第十代DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）

布魯克 DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì)，可以提供無(wú)與倫比的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于5Å。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過(guò)去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的頂峰，更加鞏固了其地位。通過(guò)整合其產(chǎn)品，DektakXT實(shí)現(xiàn)了性能。操作簡(jiǎn)易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過(guò)程控制。整合了技術(shù)突破到第十代Dektak臺(tái)階儀能夠在微電子，半導(dǎo)體，太陽(yáng)能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)表面形貌測(cè)量。
DektakXT
Specifications規(guī)格
測(cè)量技術(shù)探針輪廓技術(shù)
測(cè)量功能二維表面輪廓測(cè)量
可選三維測(cè)量/
樣品視景可選放大倍率, 1 to 4mm FOV
探針傳感器低慣量傳感器 （LIS 3）
探針壓力使用LIS 3傳感器：1 至 15mg
低作用力（選配）使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg
探針選項(xiàng)探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm
高徑比 （HAR）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客戶要求定制針尖
樣品X/Y載物臺(tái)手動(dòng) X-Y 平移：100mm （4 英寸）
機(jī)動(dòng)X-Y 平移：150mm （6 英寸）
樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái)手動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn);
機(jī)動(dòng)：360°旋轉(zhuǎn);
計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板顯示器
軟件 Vision64操作及分析軟件；
應(yīng)力測(cè)量軟件；懸臂偏轉(zhuǎn)；
縫合軟件；三維掃描成像軟件
減震裝置減震裝置可用
掃描長(zhǎng)度范圍 55mm （2英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)最多可達(dá)120,000數(shù)據(jù)點(diǎn)
最大樣品厚度 50mm （2英寸） 最大晶圓尺寸 200mm （8英寸）
臺(tái)階高度重現(xiàn)性 <5Å, 1σ在1μm臺(tái)階上
垂直范圍 1mm （0.039英寸）
垂直分辨率最大1Å （ 6.55μm垂直范圍下） 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
溫度范圍運(yùn)行范圍20 到 25°C （68到77°F）
濕度范圍 ≤ 80%, 無(wú)冷凝
系統(tǒng)尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  （17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H）; 34公斤（75磅）;
附件：550mm L x 585mm W x 445mm H （21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H）; 21.7公斤（48磅）
該公司產(chǎn)品分類： Pace金相加工設(shè)備 太陽(yáng)能電池測(cè)試儀器 無(wú)損檢測(cè)儀器 實(shí)驗(yàn)室耗材，配件等 德國(guó)BMT 汽車零部件檢測(cè)儀器 德國(guó)天頂天底儀 X射線熒光光譜儀 三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x 原子力顯微鏡AFM探針 臺(tái)階儀探針 原子力顯微鏡 光學(xué)輪廓儀 臺(tái)階儀

Ducom氣流噴砂沖蝕試驗(yàn)機(jī)

氣流噴砂沖蝕試驗(yàn)機(jī)

（該網(wǎng)頁(yè)call非真實(shí)信息，如需了解詳情，請(qǐng)call：4001361036）簡(jiǎn)介：沖蝕磨損是由顆？諝馍淞髯矒粼诠腆w表面上的沖擊而引起的。侵蝕導(dǎo)致的航空航天零部件，燃?xì)廨啓C(jī)，鍋爐和電廠的生命損失。為了限度地提高壽命，適當(dāng)選擇的材料在這樣的應(yīng)用中使用是必需的。

氣流噴砂沖蝕試驗(yàn)機(jī)便于在各種條件下測(cè)定的磨損率。磨損率可以用來(lái)確定在給定操作條件的材料。它也可以被用來(lái)預(yù)測(cè)使用壽命和壽命周期成本。

 

落地式?jīng)_蝕

 

說(shuō)明：

氣流噴砂沖蝕試驗(yàn)機(jī)的設(shè)計(jì)沖擊試樣與控制腐蝕的助焊劑的。該氣流噴砂沖蝕試驗(yàn)機(jī)是通用的，允許用戶控制撞擊速度，撞擊角度，腐蝕的流量和溫度。

試驗(yàn)結(jié)果報(bào)告為樣品重量的損失，它可被轉(zhuǎn)換成材料體積損失比較排名。

 

測(cè)試變量： 1.速度2.沖擊角度3.腐蝕氣體4.腐蝕氣的濃度（光通量）5.溫度 6.時(shí)間

 

重要特征： 1.腐蝕的助焊劑率控制2.高溫測(cè)試選項(xiàng)3.雙盤流速儀 4.樣的變化容易 5.易于更換噴嘴 6.易于機(jī)器操作 7.美國(guó)ASTM G76標(biāo)準(zhǔn) 

 

 

技術(shù)規(guī)格：

參數(shù)

單位

***低

 

備注

速度

m/ s

30

150

 

腐蝕氣進(jìn)給速度

g/min

1

5

標(biāo)稱為200目氧化鋁

沖擊角度

degree

15°30°45°60°75°90°

改進(jìn)性?shī)A具可能有其它角度

噴嘴口徑

mm

1.5

噴嘴孔2-3mm對(duì)于800C或更高

樣品尺寸

mm

25 X 25 X 5

咨詢定制更多尺寸樣本

料斗容量

liter

2

 

氣流噴砂沖蝕試驗(yàn)機(jī)，氣體射流沖蝕試驗(yàn)機(jī)，氣流沖蝕試驗(yàn)機(jī)，氣體射流，氣體腐蝕，腐蝕摩擦磨損，沖蝕磨損，氣流腐蝕，氣流沖蝕，氣體噴射摩擦，氣流噴射摩擦，高溫氣體腐蝕摩擦磨損，低溫氣流腐蝕摩擦磨損，摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)，氣流噴砂沖蝕試驗(yàn)機(jī)，氣流噴砂，噴砂沖蝕

該公司產(chǎn)品分類： 摩擦磨損試驗(yàn)機(jī) 測(cè)定儀 干涉物鏡 生物摩擦磨損試驗(yàn)機(jī) 雷達(dá) 試驗(yàn)機(jī) 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī) 扭矩

北京GR/TDK-2智能型臺(tái)階儀使用方法

智能型臺(tái)階儀 12通道臺(tái)階儀 心肺機(jī)能測(cè)量?jī)x

型號(hào)：GR/TDK-2   

北京GR/TDK-2智能型臺(tái)階儀使用方法儀器資料：

 

1.北京GR/TDK-2智能型臺(tái)階儀使用方法測(cè)試在3分鐘的定量負(fù)荷后心率變化情況，評(píng)定學(xué)生心血管功能，反映心肺機(jī)能水平

 

2.支持從電腦上集中一次性下載學(xué)生信息數(shù)據(jù)到主機(jī),無(wú)需人工錄入,

 

3.主機(jī)支持脫機(jī)測(cè)試和瀏覽/查詢,測(cè)完后可以將成績(jī)上傳到電腦上,然后上報(bào)教育部,

 

4.主機(jī)可儲(chǔ)存20000條測(cè)試數(shù)據(jù)

 

5.有自動(dòng)復(fù)位功能

 

6.北京GR/TDK-2智能型臺(tái)階儀使用方法可同時(shí)供6人測(cè)試,語(yǔ)音提示操作并報(bào)成績(jī)，同時(shí)液晶屏顯示學(xué)生姓名,學(xué)號(hào),測(cè)試成績(jī).（也有可同時(shí)供12人測(cè)試的）

 

7.精度:1%,

 

8.具備無(wú)線網(wǎng)絡(luò)數(shù)傳功能，具備ID卡接口擴(kuò)展功能

該公司產(chǎn)品分類： 測(cè)距儀、測(cè)速儀 硬度計(jì) 流量計(jì) 其他行業(yè)專用儀器儀表 軸承測(cè)試儀、軸承加熱器 汽車行業(yè)檢測(cè)儀 位移傳感器/位移測(cè)量?jī)x 水文儀器 轉(zhuǎn)速測(cè)量?jī)x/轉(zhuǎn)速儀/轉(zhuǎn)速表 振動(dòng)分析儀/測(cè)振儀 激光測(cè)試儀器 設(shè)備/機(jī)械故障檢測(cè)儀 前照燈檢測(cè)儀 行業(yè)專用儀器儀表 其他物理學(xué)儀器 反射率儀 白度計(jì)/白度儀 比色計(jì)/比色儀/色度儀 測(cè)色儀/色差計(jì) 冰點(diǎn)儀/比重計(jì)

Alpha-Step IQ臺(tái)階儀

Alpha-Step IQ是的探針臺(tái)階儀，集高測(cè)量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體。是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用的理想選擇。由于其具有7.5Å (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。是目前商業(yè)化儀器里（經(jīng)過(guò)市場(chǎng)考驗(yàn)）精度的臺(tái)階儀。是成熟的產(chǎn)品。 Alpha-Step IQ采用天然金剛石（Diamond）作為探頭，經(jīng)久耐用。探針更換簡(jiǎn)便、快速。 主要應(yīng)用于薄膜厚度測(cè)量、樣品表面形貌測(cè)量、薄膜應(yīng)力測(cè)量、樣品表面粗糙度/波紋度測(cè)量、以及樣品表面三維形貌測(cè)量等眾多領(lǐng)域。軟件具有保護(hù)測(cè)針以免發(fā)生損壞功能： ★無(wú)論何時(shí)只要測(cè)針下伸的時(shí)間超過(guò) 60 秒，但仍然沒有開始掃描，測(cè)針將自動(dòng)升起。 ★當(dāng)測(cè)針達(dá)到其測(cè)量范圍的上限時(shí)，測(cè)針自動(dòng)縮回，掃描終止。（備注：當(dāng)測(cè)針達(dá)到其上限時(shí)，屏幕上的跡線停止上升，而變?yōu)樗。?★為了安全起見，可以用程序設(shè)置升降器，使其僅可以降低到一個(gè)預(yù)設(shè)的限制。 Alpha-Step IQ探針掃描是雙方向的，即可以從左向右，又可以從右向左。 Alpha-Step IQ為可為用戶提供中文操作界面，可以提供官方（official）中文操作手冊(cè)。 Alpha-Step IQ的軟件友好，功能強(qiáng)大。

可精確測(cè)量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度； 可分析表面粗糙度 具有7.5Å (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率

KOSAKA日本產(chǎn) ET200臺(tái)階儀

 Kosaka ET200臺(tái)階儀

     
 
    株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立，也是日本第一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商，主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為最具代表性單位且在日本精密測(cè)定也占有一席無(wú)法被取代的地位。
 
     KOSAKA ET200基于 Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

    ET200配備了各種型號(hào)探針，提供了通過(guò)程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

二次元表面解析，可測(cè)量段差

高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性

FPD面板顯示，可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等

低測(cè)定力，可測(cè)定軟質(zhì)材料

 

技術(shù)參數(shù)：

 

型號(hào)

ET200

最大樣品尺寸

φ160x48mm

樣品臺(tái)

尺寸

φ160

傾斜度

±2°（X,Y手動(dòng)）

承重

2Kg

檢出器

觸針力

10μN-500μN（1mg-50mg）

范圍

600μm（0.1nm分辨率）

驅(qū)動(dòng)

直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器）

觸針

R2μm  頂角60°

X軸

最大測(cè)長(zhǎng)

100mm

直線度

0.02μm/100mm

速度

0.005-20mm/s

重復(fù)性

±5μm（定位）

Y軸

最大測(cè)長(zhǎng)

25mm/手動(dòng)

Z軸

最大測(cè)長(zhǎng)

50mm

放大倍數(shù)

垂直

50-2000000

水平

1-10000

監(jiān)控系統(tǒng)

攝像裝置

1/3 inch CCD

監(jiān)視裝置

視頻捕捉板

移動(dòng)方法

手動(dòng)

輔助功能

教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等

應(yīng)用

成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度

重復(fù)性

1σ1nm

電源

AC90-240V  50/60Hz 300VA

外觀尺寸

W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺(tái)）

 

 

 

主要應(yīng)用－－-膜厚測(cè)量

前制程機(jī)臺(tái)（如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī)）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺(tái)階、應(yīng)力測(cè)試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺(tái)階測(cè)量。
該公司產(chǎn)品分類： 玻璃碳產(chǎn)品 大氣等離子清洗機(jī) 電磁系統(tǒng) 定制坩堝 耗材配件 納米壓痕儀（劃痕儀） 臺(tái)階儀/輪廓儀 表面等離子共振儀SPR 電鏡腔體等離子清洗系統(tǒng) 真空等離子表面處理系統(tǒng) TEM硅框架 TEM無(wú)膜硅窗口 TEM純硅薄膜窗口 TEM氧化硅窗口 TEM親水性/疏水性氮化硅薄膜窗口 TEM多孔氮化硅薄膜窗口 TEM氮化硅薄膜窗口 X射線用氧化硅薄膜窗口 X射線用氮化硅薄膜窗口 X射線用薄膜窗口

BRUKER(原來(lái)VEECO) DektakXT臺(tái)階儀DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）

DektakXT 

Specifications規(guī)格 

測(cè)量技術(shù) 探針輪廓技術(shù) 

測(cè)量功能 二維表面輪廓測(cè)量 

可選三維測(cè)量/ 

樣品視景 可選放大倍率, 1 to 4mm FOV 

探針傳感器 低慣量傳感器 （LIS 3） 

探針壓力 使用LIS 3傳感器：1 至 15mg 

低作用力（選配） 使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg 

探針選項(xiàng) 探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm 

高徑比 （HAR）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm; 

可按客戶要求定制針尖 

樣品X/Y載物臺(tái) 手動(dòng) X-Y 平移：100mm （4 英寸） 

機(jī)動(dòng)X-Y 平移：150mm （6 英寸） 

樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái) 手動(dòng)，360°旋轉(zhuǎn); 

機(jī)動(dòng)：360°旋轉(zhuǎn); 

計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板顯示器 

軟件 Vision64操作及分析軟件； 

應(yīng)力測(cè)量軟件；懸臂偏轉(zhuǎn)； 

縫合軟件；三維掃描成像軟件 

減震裝置 減震裝置可用 

掃描長(zhǎng)度范圍 55mm （2英寸） 

每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) 最多可達(dá)120,000數(shù)據(jù)點(diǎn) 

最大樣品厚度 50mm （2英寸） 最大晶圓尺寸 200mm （8英寸） 

臺(tái)階高度重現(xiàn)性 <5Å, 1σ在1μm臺(tái)階上 

垂直范圍 1mm （0.039英寸） 

垂直分辨率 最大1Å （ 6.55μm垂直范圍下） 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz 

溫度范圍 運(yùn)行范圍20 到 25°C （68到77°F） 

濕度范圍 ≤ 80%, 無(wú)冷凝 

系統(tǒng)尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  （17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H）; 34公斤（75磅）; 

附件：550mm L x 585mm W x 445mm H （21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H）; 21.7公斤（48磅）

該公司產(chǎn)品分類： 儀器儀表

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