Alpha-Step IQ 是一種的探針接觸式表面輪廓儀,集高測(cè)量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體,是試行生產(chǎn)線及材料分析的理想選擇。在其8 Å(1δ)或0.1%的臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)別的分辨率的下,Alpha-Step IQ能夠?yàn)楣に囘^(guò)程的分析和監(jiān)控提供的重復(fù)性和性能。該儀器提供了一整套完備的二維表面形貌分析方法,適用于各種表面,包括:半導(dǎo)體硅片、MEMS、微電子陶瓷、SIMS、光學(xué)表面和平面顯示。Alpha-Step IQ 另外還提供了豐富的選件,如:更高的垂直測(cè)量范圍、用于樣品定位的更大倍率的攝象頭機(jī)、集成的數(shù)據(jù)處理軟件和支持多語(yǔ)言顯示等等,以滿足用戶各種不同的需求。計(jì)算機(jī)化的系統(tǒng)更提供了聯(lián)網(wǎng)和USB通訊的強(qiáng)大功能。Alpha-Step IQ 能幫助您更及時(shí)地了解工藝狀況以及提高產(chǎn)量。