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硅藍寶石壓力傳感器主要用于制造變送器。其中包括絕對壓力、表壓、差壓、流量變送器,也用于控制和調節(jié)系統(tǒng),廣泛用于礦山、采煉油、供水、供氣、汽車、飛機、航天等領域。
原理是基于硅的應變電阻效應。在藍寶石襯底上硅敏感元件構成靈敏的應變計電路由4個的敏感應變計的惠斯登電橋。藍寶石膜片與高彈性合金膜片固封為一體,流體壓力作用于這種一體的雙膜結構使電阻應變計變化,并將這種變化轉換為電信號。采用微電子加工方法做成的這種雙膜結構,便于重復性和性(壓力不泄漏)。藍寶石膜片與金屬膜片是在高真空下,用靜電或其它分子鍵合方法封接為一體的,了在很寬的溫區(qū)內具有很小的機械滯后(0.05%)和使傳感器具有穩(wěn)定性(在大信號輸出情況下<0.1%/6個月)。
特點: 應用場合:
1、高精度,高穩(wěn)定性 1.工業(yè)現(xiàn)場過程壓力控制
2、適用于高溫液體和氣體的壓力測量 2.航空航天領域
3、抗振動、抗沖擊能力強 3.航海及造船行業(yè)
4、全鈦合金材質,耐腐性強 4.石油、化工行業(yè)
5、靈敏度輸出高、高阻抗低功耗 5.制藥、食品設備設備
6、帶壓力接口,更易于使用 6.油田深井壓力測量
7.科研實驗設備